삼성전자, 네덜란드 ASML과 1조원 투자해 韓 R&D센터 건설

[더퍼블릭=최태우 기자] 삼성전자와 네덜란드의 반도체 장비 기업 ASML이 공동으로 1조원을 투자해 차세대 극자외선(EUV) 노광장비 기술을 연구하는 시설을 국내에 짓기로 했다.

윤석열 대통령은 12일(현지시간) 빌럼-알렉산더르 네덜란드 국왕, 피터 베닝크 ASML 회장과 함께 네덜란드 남동부 벨트호벤에 위치한 ASML 본사를 방문해 간담회를 갖고 MOU(양해각서)를 체결했다.

삼성전자와 SK하이닉스, ASML 간 2건의 MOU와 양국 정부 간 반도체 협력 MOU 1건이 각각 체결됐다고 박준섭 대통령실 경제수석이 브리핑을 통해 전했다.

먼저 삼성전자와 ASML은 ‘차세대 반도체 제조 기술 연구개발(R&D)센터 설립 MOU’를 체결했다. 두 기업이 공동으로 내년부터 1조원을 투자해 한국에 차세대 반도체 제조 기술 R&D 센터를 설립·운영하는 것이핵심이다.

ASML이 반도체 제조기업과 해외에 R&D 센터를 설립하는 것은 이번이 처음으로, 두 기업은 차세대 EUV를 기반으로 초미세 제조 공정 개발에 나설 예정이다.

SK하이닉스와 ASML은 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술 공동개발 MOU’를 체결했다. EUV 장비 내부의 광원 흡수 방지용 수소가스를 소각하지 않고 재활용하는 기술을 두 기업이 공동으로 개발하는 것이 골자다.

재활용 기술을 통해 EUV 한 대당 전력 사용량을 20% 감축하고 연간 165억원의 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.

이 밖에도 ‘한-네덜란드 첨단 반도체 아카데미 협력 MOU’는 양국이 미래 반도체 인재를 공동으로 양성하는 것이 핵심이다. 한국에서는 한국과학기술원(KAIST), 울산과학기술원(UNIST), 성균관대 3개 반도체특성화 대학원과 삼성전자, SK하이닉스가 참여한다.

네덜란드에선 아인트호벤 공대, IMED, 브레인포트 디벨롭먼트, ASML, ASM, NXP 등 주요 산학연이 참여한다.

ASML은 EUV 노광을 이용해 반도체를 생산하는 노광장비를 전 세계에서 유일하게 독점 공급하는 기업이다. 이 때문에 반도체 업계에서는 이른 바 ‘슈퍼을’이라고 불린다.

삼성전자와 대만 TSMC, 인텔 등 글로벌 반도체 시장을 선도하는 기업들이 ASML의 노광장비를 구입하기 위해 매년 줄을 서고 있기도 하다. ASML의 최신 장비를 먼저 도입한 곳이 초격차 경쟁력을 보여줄 수 있기 때문이다.

이날 윤 대통령은 알렉산더 국왕과 반도체 웨이퍼에 서명했는데, 이는 양국 간의 ‘반도체 동맹’의 상징이 될 것으로 보인다.

이날 방문에는 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장이 동행했으며, 피터 베닝크 ASML 최고경영자, 벤자민 로 ASM CEO, 안드레아스 페허 CEO, 루크 반 덴 오브 IMEC CEO 등 네덜란드 반도체 주요 인사들이 함께했다.

한편, 윤 대통령과 알렉산더 국왕은 ASML의 차세대 EUV 장비가 생산되는 ‘클린룸’을 시찰했다. ASML이 ‘클린룸’을 대외적으로 공개하는 것은 이번이 처음이다.

이와 관련해 박춘섭 경제수석은 “ASML과 한국 반도체 기업들과의 깊은 신뢰 관계와 전략적 협력의 중요성을 보여주는 것”이라고 했다.

더퍼블릭 / 최태우 기자 therapy4869@thepublic.kr