[더퍼블릭=김영일 기자] 한미반도체로부터 HBM(고대역폭메모리) 필수 제조 장비인 ‘TC본더’ 특허권 침해 소송을 당한 한화세미텍이 역(逆)으로 한미반도체를 상대로 특허권 침해 맞소송을 제기했다.
이에 한미반도체는 ‘적반하장(賊反荷杖-도둑이 도리어 매를 든다는 뜻)’, ‘후안무치(厚顔無恥-뻔뻔스러워 부끄러움이 없다)’라는 입장이다.
앞서 한미반도체는 지난해 12월 “한화세미텍이 자사 TC본더 관련 특허를 침해했다”며, 서울중앙지방법원에 특허침해 소송을 제기했다.
TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비로, 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 HBM을 제조하는 필수 장비다.
그런데 한화세미텍도 최근 자사 TC본더 핵심 기술에 대한 특허권을 침해받았다며, 한미반도체를 상대로 소송을 내는 등 맞불을 놨다. 한화세미텍은 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 부품 일부를 문제로 삼은 것으로 전해졌다.
한화세미텍은 소송 대리인으로는 김앤장 법률사무소를 선임한 것으로 알려졌다.
한화세미텍과 한미반도체 모두 글로벌 HBM 시장을 주도하고 있는 SK하이닉스를 주요 고객사로 두고 있는 만큼, 소송 결과에 따라 향후 경쟁 구도에 상상한 영향을 미칠 것이란 관측이다.
한화세미텍의 특허권 침해 맞대응에, 한미반도체는 적반하장이란 입장이다.
한화세미텍의 맞소송이 알려진 지난 28일, 한미반도체는 입장문을 내고 “이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송”이라며 “당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치한 행동”이라고 직격했다.
이어 “한미반도체는 TC본더 시장 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 이래 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다”고 밝혔다.
그러면서 “당사는 법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다”고 덧붙였다.
더퍼블릭 / 김영일 기자 kill0127@thepublic.kr