[더퍼블릭=김영일 기자] 글로벌 반도체 업계에서 이른바 ‘슈퍼 을(乙)’로 통하는 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 12일 경기도 화성시에서 화성캠퍼스 준공식을 개최했다.
1984년 네덜란드에서 설립된 ASML은 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산해 삼성전자 및 SK하이닉스, TSMC 등 국내외 반도체 기업에 공급하고 있다.
극자외선(EUV) 노광장비는 반도체 웨이퍼(반도체 칩을 만들기 위해 사용되는 얇고 평평한 원판)에 설계된 회로 패턴을 그리는 장비로, 광원의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다고 한다.
산업통상부에 따르면, 이번에 준공된 ASML의 화성캠퍼스는 1만 6000㎡ 규모로, 2021년부터 2025년까지 총 2400억원이 투자됐다.
화성캠퍼스는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비 등 첨단장비 부품을 재(再)제조하는 센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터 등을 통합한 ASML의 아시아 핵심 거점으로, 국내 반도체 산업의 공급망 안정성 강화와 기술 내재화에 기여할 것으로 기대되고 있다.
특히 ASML은 화성캠퍼스를 통해 ▶삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류 강화 ▶국내 소재 부품 장비 기업과의 연계 생태계 구축 ▶이를 통해 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화할 계획이라는 게 산업부의 설명이다.
이날 화성캠퍼스 준공식에 참석한 산업부 강감찬 무역투자실장은 축사를 통해 “외국인 투자는 우리 경제의 혁신과 성장의 핵심 동력”이라며 “정부는 현금지원 확대, 입지 세제 혜택 강화, 규제 개선 등 글로벌 기업이 투자하기 좋은 환경을 조성하기 위해 적극 노력하겠다”고 말했다.
그러면서 “한국 반도체 산업 발전에는 지자체와 중앙정부, 국가 간의 긴밀한 협력이 중요하고, 오늘의 준공은 그 협력의 좋은 사례”라며 “앞으로도 한국과 네덜란드 양국 간의 반도체 기술 협력과 투자가 더욱 긴밀하게 이어지기를 기대한다”고 덧붙였다.
김성중 경기도 행정1부지사도 축사를 통해 “ASML 화성 캠퍼스 준공은 경기도가 구축해 온 반도체 산업 허브가 현실로 이어졌음을 보여준다. ASML의 투자가 공급망 안정과 인재 양성 측면에서 세계적인 모범사례가 될 것”이라며 “최근 민선 8기 경기도가 ‘투자유치 100조 원+α’ 목표를 8개월 앞서 달성한 시점과 맞물려 더 의미가 크게 느껴진다”고 말했다.
한편, 화성캠퍼스 준공식에 참여하기 위해 방한한 ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)는 이날 오후 전영현 삼성전자 디바이스솔루션(DS·반도체) 부문장(부회장)을 만날 예정인 것으로 알려졌다.
지난 11일에는 곽노정 SK하이닉스 대표이사를 만난 것으로 전해졌다.
푸케 CEO와 SK하이닉스‧삼성전자의 회동은 반도체 장비 구매 관련 협상이나 논의 때문이라는 관측이다.
앞서 삼성전자는 올해 초 처음으로 ASML의 ‘High NA EUV’를 국내에 설치한 데 이어 연내 양산용 장비를 한 대 더 추가하기로 했고, SK하이닉스는 지난 9월 양산용 High NA 장비를 이천 M16 공장에 들여놓은 바 있다.
더퍼블릭 / 김영일 기자 kill0127@thepublic.kr